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Convegni ATI - Accesso riservato soci CTI

Modello numerico semplificato per un flim sottile irradiato da una sorgente laser in movimento

Pubblicazione


Autore: N. Bianco, O. Manca, V. Naso, G. Rotondo

Collana: CA - 57 - Pisa 2002

Note:
Si è analizzato numericamente il campo di temperatura in una struttura composta da un film sottile di silicio amorfo depositato su un substrato di vetro e irradiato con un laser Nd-YAG in movimento con velocità costante. Il campo termico è considerato bidimensionale ed in regime quasi stazionario. Le proprietà ottiche del silicio amorfo sono considerate dipendenti dalla temperatura e quindi i campi termico ed ottico all'interno del film sono tra loro accoppiati. Il modello coniugato ottico-conduttivo è stato risolto mediante una tecnica numerica ai volumi finiti, trascurando il termine conduttivo lungo la direzione del moto. Il campo ottico è stato considerato localmente monodimensionale ed è stato ricavato mediante la tecnica delle matrici. Il confronto tra la soluzione con proprietà ottiche costanti e variabili ha mostrato che la funzione di assorbimento relativa al caso di proprietà ottiche variabili con la temperatura tende a quella relativa al caso di proprietà ottiche costanti all'aumentare della velocità relativa tra sorgente e pezzo in lavorazione. Il fim in silicio amorfo, inoltre, può considerarsi opaco per spessori maggiori di 9 micron, sia nel caso di proprietà ottiche costanti che variabili con la temperatura. A parità di velocità, all'aumentare dello spessore si è osservato un aumento dela temperatura nel provino a causa della maggiore aliquota di energia assorbita.


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